千級(jí)無塵室（Class 100 Cleanroom）是一種高潔凈度的環(huán)境，主要用于需要極高潔凈度的制造和研究領(lǐng)域，如半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、精密儀器制造等。千級(jí)無塵室的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是每立方米空氣中不超過100個(gè)0.5微米及以上的顆粒。
以下是千級(jí)無塵室的一些關(guān)鍵特點(diǎn)和要求：
空氣過濾系統(tǒng)：使用高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA）來過濾空氣，確保進(jìn)入無塵室的空氣潔凈。
氣流設(shè)計(jì)：通常采用層流（Laminar Flow）設(shè)計(jì)，使空氣以單向流動(dòng)，減少空氣中的顆粒物。
壓力控制：保持無塵室內(nèi)的正壓，以防止外部污染物進(jìn)入。
溫濕度控制：嚴(yán)格控制溫度和濕度，以滿足特定工藝的要求。
人員和物品管理：進(jìn)入無塵室的人員需要穿戴專用的無塵服、手套、口罩等，物品也需要經(jīng)過嚴(yán)格的清潔和消毒程序。
定期監(jiān)測(cè)和維護(hù)：定期進(jìn)行潔凈度監(jiān)測(cè)和設(shè)備維護(hù)，確保無塵室的潔凈度符合標(biāo)準(zhǔn)。
千級(jí)無塵室的建設(shè)和維護(hù)成本較高，但對(duì)于需要高潔凈度環(huán)境的行業(yè)來說，這是必不可少的投資。
