空調(diào)凈化系統(tǒng)（HVAC）：
核心中的核心：其設(shè)計(jì)合理性直接決定車(chē)間的溫濕度、潔凈度和壓差。
風(fēng)管制作：必須采用優(yōu)質(zhì)鍍鋅鋼板，制作過(guò)程要求清潔、密封，防止內(nèi)部積塵。安裝后需進(jìn)行分段漏風(fēng)檢測(cè)。
過(guò)濾器安裝：高效過(guò)濾器（HEPA/ULPA） 的安裝是重中之重。必須在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行檢漏測(cè)試（PAO/DOP測(cè)試），確保過(guò)濾器本身及其與安裝框架連接處無(wú)泄漏。這是潔凈度達(dá)標(biāo)的生命線(xiàn)。
節(jié)能考慮：合理選擇風(fēng)機(jī)、采用變頻控制等技術(shù)，以降低后期運(yùn)行能耗。
電氣與照明系統(tǒng)：
燈具：應(yīng)選用潔凈室專(zhuān)用燈具，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、密封性好、不易積塵、易于清潔。照度需符合工藝要求（通常300-500 Lux）。
插座與開(kāi)關(guān)：應(yīng)選用嵌入式、密封型產(chǎn)品，減少突出表面，防止積塵。
管線(xiàn)穿墻：所有穿過(guò)圍護(hù)結(jié)構(gòu)的管線(xiàn)（電線(xiàn)管、風(fēng)管、水管）必須進(jìn)行嚴(yán)格的密封處理，這是維持壓差和防止污染的關(guān)鍵。
工藝管道與設(shè)施：
給排水：管道材料應(yīng)耐腐蝕，地漏必須使用潔凈室專(zhuān)用密封地漏，防止廢氣倒灌。
氣體管道：高純氣體管道需進(jìn)行內(nèi)壁處理（如BA級(jí)EP級(jí)），確保氣體純度。
設(shè)備就位：大型設(shè)備應(yīng)在墻板安裝前提前進(jìn)場(chǎng)。如需后期進(jìn)入，需規(guī)劃好通道并制定保護(hù)措施。
